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回転電極式微小球製造装置の原理 |
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回転電極式微小球製造装置は、不活性雰囲気のチャンバー内で対向する試料側電極（＋）とアーク電極（－）間でアーク放電をおこし、試料側電極を高速で回転させることにより、溶融しながら遠心力により溶滴として飛散させ金属球を製造します。金属球の径のコントロールはアーク電流および試料側電極回転速度で行います。 |
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回転電極式微小球製造装置の構成
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回転電極式微小球製造装置は回転機構を有する試料側電極（＋）と各電極間の距離を一定に保つ上下移動機構を有するアーク電極（－）があり、これらは円形のチャンバー内外に収納され、下部には金属球回収容器が設置されています。チャンバーにはアーク放電状態の監視や試料挿入を行う覗き窓、操作ポートが設置されています。またチャンバー内の不活性ガス置換のため、パージガス導入系とチャンバー内圧力を調整する圧力自動調整器と真空ポンプを備えた排気系が設置されています。 |
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金属間化合物粒子 |
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金属粒子
（直径φ1mm）
の電子顕微鏡写真 |
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仕 様
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| 項 目 |
内 容 |
| 対象材料 |
絶縁材以外の金属、合金および金属間化合物 |
| 金属球形の製造できる範囲 |
φ0.2~2mm （チャンバー径φ1,500mmの場合） |
| チャンバー |
下部円錐型、寸法：φ1500mm、材質：SUS304製 |
| 不活性ガス |
Ar、He |
| 試料電極寸法 |
最大φ20mm×120mm長さ（有効長さ100mm） |
| アーク電極 |
セリア添加タングステン電極 |
| 試料電極回転数 |
2,000~20,000ｒｐｍ |
| アーク電流 |
最大200Ａ |
| チャンバー耐圧・真空度 |
耐圧:0.1MPa、真空度：50Pa（試料挿入時、室温） |
| 電極ストローク |
150mm |
| 電極送り速度 |
0~250mm/min |
| 操作条件設定・表示 |
液晶カラータッチパネル |
| データロギング |
PLC内蔵SDカード |
| 装置設置寸法・重量 |
設置寸法:2,500×2,500mm、重量350ｋｇ |
| 電源・ユーティリティー |
本体：3φ200V/200A、冷却ユニット：1φ200V/15A
計装空気：0.45~0.6MPa |
| 安全対策 |
毒物・劇物・特化物にあわせた局所排気フードおよびフィルタをご要望により設置 |
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