レーザー |
小型Nd:YAG、1064nm-180mJ/266nm-45mJ
±2%、~20Hz 高速パルス機能 |
レーザー電源 |
AC100V、密封水循環冷却式 |
同期信号発生器 |
iCCDに内蔵、PC経由制御方式 |
光学系 |
光収束用光学系、光伝送用ファイバー |
分光器 |
高速応答・高分解能 Czerny-Turner型 (0.1nm)分光器 |
検出器 |
高速応答・高感度 iCCD |
可視装置 |
1.2mm×0.9mm試料面ビデオ表示、640×480pixels |
照射容器 |
1種レーザー安全シールド、不活性雰囲気管理 |
試料移動台 |
三次元自動位置制御50mm×50mm× 50mm 、20Hz対応 |
運転制御ソフト |
レーザー出力、スポット寸法、パルス間隔、
光量積分開始遅延時間等運転条件制御
試料移動台駆動制御 |
分析ソフト |
元素発光エネルギー検索(多元素分布半定量分析機能)
定量測定値統計処理 |
制御記録PC |
3GHz Pentium + 512Mb RAM, WINDOWS-XP(日本語版)、
データ表示、オンラインヘルプ機能付き |